目錄:國儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司>>掃描電子顯微鏡>>掃描電鏡SEM>> SEM5000Pro國儀量子場發(fā)射掃描電子顯微鏡
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 二次電子圖象分辨率 | 0.8?nm @ 15 kVnm |
|---|---|---|---|
| 放大倍數(shù) | 1 x ～ 2,500,000 xx | 加速電壓 | 20 V ～ 30 kVkV |
| 價格區(qū)間 | 200萬-250萬 | 儀器種類 | 熱場發(fā)射 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,電子,冶金 |
國儀量子場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro
產(chǎn)品介紹
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。
先進(jìn)的鏡筒設(shè)計，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計，實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。
電子槍類型 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
加速電壓 20 V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV 1.2 nm @ 1 kV
樣品臺 五軸全自動樣品臺
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
產(chǎn)品特點
分辨率高，低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像
高壓隧道技術(shù) (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機(jī)械調(diào)節(jié)，實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應(yīng)用領(lǐng)域
規(guī)格參數(shù)
| 關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 0.8 nm @15 kV,SE 1.2 nm @1.0 kV,SE |
| 加速電壓 | 20V~30 kV | |
| 放大倍率 | 1~2,500,000x | |
| 電子槍類型 | 肖特基場發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動控制 |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 (光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控) | |
| 樣品臺行程 | X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm T:-10°~+70°,R:360° | |
| 探測器 和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)電子探測器 旁側(cè)二次電子探測器(ETD) |
| 選配 | 插入式背散射電子探測器(BSED) 插入式掃描透射探測器(STEM) 能譜儀(EDS) 背散射衍射(EBSD) 樣品交換倉 軌跡球&旋鈕控制板 | |
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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